技术参数
读数头尺寸36 mm（长） x 16.5 mm （宽）x 17.2 mm（高）
栅距30μm
热膨胀系数10.1±0.2μm/m/°C
精度等级±5 μm/m,高精度：±1 μm
光栅尺长度最高可达25m
电子细分误差±40nm
支持协议Biss C；Mitsubishi；Panasonic；FANUC；Yaskawa；Siemens
分辨率BiSS C：分辨率为50 nm、5 nm和1 nm FANUC和Mitsubishi：分辨率为50 nm和1 nm Panasonic：分辨率为100 nm、5 nm和1 nm Yaskawa：分辨率为50 nm和1 nm
电源5 V ±10%，5 V时最大为250 mA（端接）
工作温度可达+75 °C
密封等级IP30
产品特点
绝对式编码，断电不丢位置。
专为真空环境设计，低放气材料，适应高真空工况。
测量长度最高 25m，精度等级 ±5 μm/m。
电子细分误差仅 ±40nm，分辨率最高 1nm。
产品应用
真空环境下的精密定位（镀膜、刻蚀设备）。
电子束、离子束加工设备的位移反馈。
航天器件真空测试台与空间模拟设备。
FAQ
常见问题
这款光栅尺主要应用在哪些场景？
真空环境下的精密定位（镀膜、刻蚀设备）。电子束、离子束加工设备的位移反馈。航天器件真空测试台与空间模拟设备。具体工况选型可与方易电气工程师沟通。
如何为我选配合适的光栅尺？
请提供测量行程、安装空间、输出信号接口等工况参数，方易电气工程师可协助选型并提供非标定制。
